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感應加熱電源
直流電源
射頻電源
成套設備
技術(shù)參數：輸出頻率13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz，輸出功率500~5000W。
應用領(lǐng)域：等離子清洗、等離子刻蝕、PECVD等。
功能特點(diǎn)
能耗低、體積小、使用壽命長(cháng)。
控制精度高，穩定性高。
面板可顯示和調節頻率、設定功率、正向功率、反射功率、負載功率。
具有過(guò)壓、過(guò)流、過(guò)反射、過(guò)溫等保護功能。
支持多種通訊協(xié)議。
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0379-62202805
