半導體行業(yè)
半導體行業(yè)對生產(chǎn)設備的要求非常高,需要高精度控制、高一致性、高可靠性,以超精密的方式進(jìn)行納米級別芯片的生產(chǎn),這給設備制造商帶來(lái)了獨特的挑戰??浦Z致力于為中國半導體產(chǎn)業(yè)升級貢獻自己的力量,研發(fā)生產(chǎn)出了高精度智能化電源,目前科諾生產(chǎn)的一拖二高精度IGBT感應加熱電源已大量應用于常壓化學(xué)氣相沉積(APCVD)領(lǐng)域,高精度射頻電源應用于等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)領(lǐng)域,高精度IGBT感應加熱電源已出口臺灣地區,廣泛應用于碳化硅晶體生長(cháng)、半導體氧化擴散(Oxide/Diff)等領(lǐng)域。
一拖二高精度IGBT感應加熱 碳化硅晶體生長(cháng)電源